千佛殿又叫西方圣人殿，因殿内绘有大型壁画五百罗汉而得名，是少林寺最后一进大殿，也是少林寺现存最大的佛殿。殿内供毗卢佛，故又称毗卢阁。
千佛殿明末重建，面阔七间，高20米，神龛上的“法印高提”为乾隆题写。殿内佛龛中供奉的毗卢佛铜像为明代所铸。神龛后面北壁及东、西两壁绘“五百罗汉朝毗卢”大型壁画。这五百罗汉形貌奇特，分为35组，各表达一个故事，据说这些罗汉面部的颜色随时都会变化，每12年就会有一个罗汉的面貌发生变化。
殿内地面上有48个排列成深20厘米的陷坑，据说是少林武僧练拳习武的脚坑遗址。脚坑分布方圆不大，呈一条线状，这是僧人刻苦练功的见证，也说明少林拳的所谓“曲而不曲，直而不直”的特点。